Material : Stainness304 / AluminumChamber size : 450x450x600Front Open Door with Window(shutter)¼”VCR vent port Pumping port/gauge/spare portOsaka turbo pump 1100l/s ISO200inlet flange600l/m Rotary pump Ion gauge/convection gauge ATM sensor Option : Load-lock unit/Cryo pump Material : Inconel600(High temp) Water cooling stage : OFHC Max Sample size : 6inchOption : Up/down / Heating Max temp 400C/Rotation by motor/Bias for Cleaning System Manual operation Option : Semi-auto Operation system
· 15inch Touch panel control
· System reciepe
· Interlock(Water/Pneumatic air)
· Data loading
E-beam Power supply 6kW with Sweep controller / Remote control unit E-Gun Boat(1~6 multi pocket capacity : 4~7cc) W, Mo source evaporation boat installMax current 300A( Electrical rod - cooling) Pneumatic shutter for source
W-boatthickness sensorVacuum sensor Oil in Rotary Oil PumpO-ringWindow Heating moduleCrucible| 전력 | 220VAC 3ph 50A |
|---|---|
| 공기압 | 0.5~0.6Mpa |
| 공기압 input size | 6 mm one touch fitting |
| 냉각수 in/out | 1/2" lok fitting (ø16) |
| 냉각수 공급 | Air temp 10liter/min |
| 냉각수 압력 | 0.1~0.2Mpa |
| 배기 pump | NW40 |
| Rotary pump 용량 | 550liter/min |
| Dry pump 배기 | Power thermal 2channel |
| Dry pump 용량 | E-beam 4cc 4channel |
그래핀 스퀘어에서는 장비를 구매하신 고객분들께 전체 부속품 (단 quartz 유리 및 고무 오링 제외)에 대한 1년 무상 워런티 서비스를 제공합니다. 기간 내에 사용하시는 장비에서 부품 이상 또는 시스템 오류 발견시 바로 연락 주시면 즉각 24시 이내에 수리기사를 파견하여 드립니다.
제작 완료 및 검수 공정을 통과한 모든 장비는 고객님께서 지정해주신 장소로 당일배송 드립니다.
1. 견적 요청 및 견적서 제공
고객의 구매의사 확인 (고객으로 부터 Purchase order 전달)
Invoice 및 Payment 자료 제공
1차 입금 완료시 기계 제작 돌입 및 training program 제공
제작 완료후 최종 테스트 통과시 제품 포장 및 발송 진행
최대 4일 이내 고객 사이트에 도착 완료
추후 오픈 예정입니다.
