Material : Stainness304 Chamber size : (Optional)Top shower head(Switched bias)¼”VCR vent port Window port (I.D40mm)MKS NW40 Auto pressure control valve with Controller600l/m Rotary pump Capacitance gauge(10torr NW16) ATM sensor Option : High Vacuum unit Turbo pump(magnet type/Full rangeMaterial : Hard Anodizing Al with Ceramic insulator600watt RF power with Matching box Water coolingMax Sample size : 6inch Option : Up/down / Heating - 400℃ MKS Ar/O2/SF6 Mass flow controllerOn/off Diaphram valve unitOption : 2channel addition Gas leak sensor Material : Hard Anodizing Aluminum with insulator ¼”VCR Gas input port15inch Touch pa.nel controlSystem reciepeInterlock (Water/Pneumatic air)
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Vacuum sensorOil in Rotary Oil PumpO-ringWindow Pump| 전력 | 220VAC 1ph 30A |
|---|---|
| 공기압 | 0.5~0.6Mpa |
| 공기압 input size | 6 mm one touch fitting |
| 냉각수 in/out | 3/8" lok fitting (ø10) |
| 냉각수 공급 | Air temp 5~7liter/min |
| 냉각수 압력 | 0.1~0.2Mpa |
| 안전 배기 size | |
| 가스 input 압력 | 40psi |
| 가스 port | 4ch standard (Option 2ch Expansion) |
| 가스 port Size | 1/4"VCR fitting |
| 배기 pump | NW40 |
| Rotary pump 용량 | 550liter/min(formblin) |
| Vent | 1/4"lok fitting |
| Dry pump 배기 | RF 600watt |
그래핀 스퀘어에서는 장비를 구매하신 고객분들께 전체 부속품 (단 quartz 유리 및 고무 오링 제외)에 대한 1년 무상 워런티 서비스를 제공합니다. 기간 내에 사용하시는 장비에서 부품 이상 또는 시스템 오류 발견시 바로 연락 주시면 즉각 24시 이내에 수리기사를 파견하여 드립니다.
제작 완료 및 검수 공정을 통과한 모든 장비는 고객님께서 지정해주신 장소로 당일배송 드립니다.
1. 견적 요청 및 견적서 제공
고객의 구매의사 확인 (고객으로 부터 Purchase order 전달)
Invoice 및 Payment 자료 제공
1차 입금 완료시 기계 제작 돌입 및 training program 제공
제작 완료후 최종 테스트 통과시 제품 포장 및 발송 진행
최대 4일 이내 고객 사이트에 도착 완료
추후 오픈 예정입니다.
