TCVD-DRF100CA 2300(W) x 1770(H) x 750(D)
견적 문의
Thermal Chemical
Vapor Deposition 열화학증착(TCVD)기술의 주요 사항은 기판 위에 얇은 필름이 합성되는 고압의 reactor로 1,000ºC 가량의 고온에서 가스들을 유입시키는 것입니다.
특징
  • Size (mm): 2300(W) x 1770(H) x 750(D)
  • Up to 10 gases 3 MO sources for gas-phase synthesis.
  • 빠른 가열, 냉각을위한 모터 제어 가동 히터
  • 프로그램 레시피를 컴퓨터 제어
  • Platform: 5년이상 시스템의 검증된 성능을 제공합니다.
  • 모든 샘플의 합성과정에 대한 초청교육
  • 고품질 재료 공급
  • 1 년 보증 포함 (2 년 사용 가능한 보증 연장)
  • CVD chamber에 glovebox를 연결
  • * 가격은 상담 후 결정됩니다.
  • (표준 부분에서 다른 사용자 정의는 전체 가격에 영향을 미칠 것입니다.)
장비
    듀얼 CVD
    글러브 박스 시스템     CVD 챔버가 이층구조로 되어있는 독특한 형태의 장비입니다. 좀 더 특별하고 다양한 연구실험을 제공합니다. 또한 글러브박스가 포함되어 있습니다.
    글러브 박스 실내의 대기와 차단되어 불안정한 물질을 취급할 수 있습니다. 또한 실험용 sample의 산화 및 오염을 방지합니다.
    스마트 시스템 12” 터치스크린을 장착한 듀얼코어 성능의 PC 시스템을 제공하여 원격조정을 가능하게 합니다.
    안전 캐비넷과 긴급정지기능 시스템 전체를 덮는 안전 캐비넷과 긴급정지버튼은 위험한 상황에서 사용자의 안전을 보호해줍니다.
      • 사양 (표준)

        1. Thermal CVD Auto Operation system - 2channel operation

        2. Both End chamber(Stainess) - All parts cooling by water

        3. Glove box unit (Sample Auto-loading and Anti-contamination)

        4. Quartz Main chamber

        5. Gas control unit ( Mass flow controller) - 3channel standard

        6. 340liter/min Oil rotary pump

        7. Pneumatic On/off valve with Auto pressure control Throttle valve

        8. Programmable Temperature controller

        9. High Temperature Furnace(Max1200℃)

        10. Rapid Cooling system by furnace moving

        11. Atmospheric and Vacuum Processing

        12. Anti-contamination system by inner tube

        13. Vacuum gauge unit(Capacitance/Convectron)

        14. 1 year warranty

        15. On-site install and tranning

        16. System Program (Auto processing system)

        17. Safety Cover (Connected exhaust system)

        18. High Vacuum processing (Pump/Gauge/valve unit)

        19. RF plasma (ICP type)

      • 사양 (추가)

        1. Max temp 1500℃ Furnace by SIC source

        2. Rapid thermal processing furnace by IR lamp source

        3. MF power induction heating process Max temp 1600℃

        4. MFC(Mass flow controller) addtion total 12channel

        5. Dry vacuum pump ( Scroll / booster / industry)

        6. Safety interlock system(Water / Air/gas leak)

        7. Tungsten filament gas source cracking

        8. Additional Furnace for source evaporation

        9. High Vacuum processing option (Pump/Gauge/valve unit)

        10. Source delivery system ( Bubbler / Gas / Solid )

        11. System Utility ( Chiller / scrubber / gas cabinet )

        12. System Co-operation( 2system simultaneous operation)

      • 소모품

        1. K-type Thermocouple (Option : R-type)

        2. Furnace heating element (Furnace repair)

        3. Vacuum sensor

        4. Oil in Rotary Oil Pump

        5. O-ring

        6. Quartz tube

    • 시설 요구 사항
      전력 220VAC 1ph 75A
      공기압 0.5~0.6Mpa
      공기압 input 크기 6 mm one touch fitting
      냉각수 in/out 3/8" lok fitting
      냉각수 공급 Air temp 5~7liter/min
      냉각수 압력 0.1~0.2Mpa
      안전 배기 size 6 mm one touch tube
      가스 input 압력 40ps
      가스 port 4ch standard (Option 2ch Expansion)
      가스 port size 1/4"lok fitting
      배기 pump NW25
      Rotary pump 용량 340liter/min
      Vent 1/4"lok fitting
    • 설계도
    • 품질 보증

      그래핀 스퀘어에서는 장비를 구매하신 고객분들께 전체 부속품 (단 quartz 유리 및 고무 오링 제외)에 대한 1년 무상 워런티 서비스를 제공합니다. 기간 내에 사용하시는 장비에서 부품 이상 또는 시스템 오류 발견시 바로 연락 주시면 즉각 24시 이내에 수리기사를 파견하여 드립니다.

    • 배송 기간

      제작 완료 및 검수 공정을 통과한 모든 장비는 고객님께서 지정해주신 장소로 당일배송 드립니다.

    • 장비 구매 과정
      • 1
        견적 요청

        1. 견적 요청 및 견적서 제공

      • 2
        구매의사 확인

        고객의 구매의사 확인 (고객으로 부터 Purchase order 전달)

      • 3
        Invoice / Payment

        Invoice 및 Payment 자료 제공

      • 4
        제작 / Training Program 제공

        1차 입금 완료시 기계 제작 돌입 및 training program 제공

      • 5
        장비 동작Test / 제품포장, 발송

        제작 완료후 최종 테스트 통과시 제품 포장 및 발송 진행

      • 6
        도착 완료

        최대 4일 이내 고객 사이트에 도착 완료

    • FAQ

      추후 오픈 예정입니다.

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