TCVD-RF100CA
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Thermal Chemical
Vapor Deposition 열화학증착(TCVD)기술의 주요 사항은 기판 위에 얇은 필름이 합성되는 고압의 reactor로 1,000ºC 가량의 고온에서 가스들을 유입시키는 것입니다.
특징
  • Size (mm) : 2300(W) x 1770(H) x 750(D)
  • Up to 10 gases 3 MO sources for gas-phase synthesis.
  • 빠른 가열, 냉각을위한 모터 제어 가동 히터
  • 프로그램 레시피를 컴퓨터 제어
  • Platform: 5년이상 시스템의 검증된 성능을 제공합니다.
  • 모든 샘플의 합성과정에 대한 초청교육
  • * 가격은 상담 후 결정됩니다.
  • (표준 부분에서 다른 사용자 정의는 전체 가격에 영향을 미칠 것입니다.)
장비
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    플라즈마 시스템 저온에서 성막이 가능하고 또한 대량 처리가 가능합니다.
    퍼니스 자동 이동 시스템 퍼니스는 두 개의 레일이 석영관을 따라 이동 가능하도록 설계되었습니다. 또한 수평상태에서 자동 이동이 가능한 정밀 센서를 제공합니다. 이 시스템은 빠른 가열과 빠른 냉각이 가능합니다.
    스마트 시스템 12” 터치스크린을 장착한 듀얼코어 성능의 PC 시스템을 제공하여 원격조정을 가능하게 합니다.
    안전 캐비넷과 긴급정지기능 시스템 전체를 덮는 안전 캐비넷과 긴급정지버튼은 위험한 상황에서 사용자의 안전을 보호해줍니다.
    순도 높은 고품질의 그래핀 및
    2D Material 생산 가능     그래핀 뿐만 아니라 2D Material의 안정적인 고순도 성장을 도와줍니다.
      • 사양 (표준)

        1. Thermal CVD Semi-auto Operation system

        2. Both End chamber(Stainess) - All parts cooling by water

        3. Quartz Main chamber

        4. Gas control unit ( Mass flow controller) - 3channel standard

        5. 340liter/min Oil rotary pump

        6. Pneumatic On/off valve with Auto pressure control Throttle valve

        7. Programmable Temperature controller

        8. High Temperature Furnace(Max1200℃)

        9. Rapid Cooling system by furnace moving

        10. Atmospheric and Vacuum Processing

        11. Anti-contamination system by inner tube

        12. Vacuum gauge unit(Capacitance/Convectron)

        13. 1 year warranty

        14. On-site install and training

        15. System Program ( Auto processing system)

        16. Safety Cover ( Connected exhaust system )

        17. High Vacuum processing (Pump/Gauge/valve unit)

        18. RF plasma ( ICP type )

      • 사양 (추가)

        1. Max temp 1500℃ Furnace by SIC source

        2. Rapid thermal processing furnace by IR lamp source

        3. MF power induction heating process Max temp 1600℃

        4. MFC(Mass flow controller) addtion total 12channel

        5. Dry vacuum pump ( Scroll / booster / industry)

        6. Safety interlock system(Water / Air/gas leak)

        7. Tungsten filament gas source cracking

        8. Additional Furnace for source evaporation

        9. High Vacuum processing option (Pump/Gauge/valve unit)

        10. Source delivery system ( Bubbler / Gas / Solid )

        11. System Utility ( Chiller / scrubber / gas cabinet )

      • 소모품

        1. K-type Thermocouple (Option : R-type)

        2. Furnace heating element (Furnace repair)

        3. Vacuum sensor

        4. Oil in Rotary Oil Pump

        5. O-ring

        6. Quartz tube

    • 시설 요구 사항
      전력 220VAC 1ph 40A
      공기압 0.5~0.6Mpa
      공기압 input size 6 mm one touch fitting
      냉각수 in/out 3/8" lok fitting
      냉각수 공급 Air temp 5~7liter/min
      냉각수 압력 0.1~0.2Mpa
      안전 배기 size 6 mm one touch tube
      가스 input 압력 40psi
      가스 port 10ch standard (Option 2ch Expansion)
      가스 port size 1/4"lok fitting
      배기 pump NW25
      Rotary pump 용량 340liter/min
      Vent 1/4"lok fitting
      Dry pump 배기 NW16
      Dry pump 용량 250liter/min
      Cold trap LN2 port NW16
    • 설계도

    이 장비를 구입한 고객
    • ETH IBM Lab ETH IBM Lab
    • 품질 보증

      그래핀 스퀘어에서는 장비를 구매하신 고객분들께 전체 부속품 (단 quartz 유리 및 고무 오링 제외)에 대한 1년 무상 워런티 서비스를 제공합니다. 기간 내에 사용하시는 장비에서 부품 이상 또는 시스템 오류 발견시 바로 연락 주시면 즉각 24시 이내에 수리기사를 파견하여 드립니다.

    • 배송 기간

      제작 완료 및 검수 공정을 통과한 모든 장비는 고객님께서 지정해주신 장소로 당일배송 드립니다.

    • 장비 구매 과정
      • 1
        견적 요청

        1. 견적 요청 및 견적서 제공

      • 2
        구매의사 확인

        고객의 구매의사 확인 (고객으로 부터 Purchase order 전달)

      • 3
        Invoice / Payment

        Invoice 및 Payment 자료 제공

      • 4
        제작 / Training Program 제공

        1차 입금 완료시 기계 제작 돌입 및 training program 제공

      • 5
        장비 동작Test / 제품포장, 발송

        제작 완료후 최종 테스트 통과시 제품 포장 및 발송 진행

      • 6
        도착 완료

        최대 4일 이내 고객 사이트에 도착 완료

    • FAQ

      추후 오픈 예정입니다.

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