TCVD-100A 1750(W) X 1585(H) X 750(D)
견적 문의
Thermal Chemical
Vapor Deposition 열화학증착(TCVD)기술의 주요 사항은 기판 위에 얇은 필름이 합성되는 고압의 reactor로 1,000ºC 가량의 고온에서 가스들을 유입시키는 것입니다.
특징
  • Size(mm): 1750(W) x 1585(H) x 750(D)
  • 반자동 시스템
  • Optimized for graphene, CNT growth
  • Graphene, CNT 성장에 최적화
  • Water-cooled end chambers doors.
  • 온도 조절: ~1,100 °C
  • 필름 두께의 균일성: ≤+-3%
  • 테스트 균일: ≤+-3%
  • 빠른 가열, 냉각을위한 모터 제어 가동 히터
  • 안전 캐비닛
  • * 가격은 상담 후 결정됩니다.
  • (표준 부분에서 다른 사용자 정의는 전체 가격에 영향을 미칠 것입니다.)
장비
    최적의 성장 기능 TCVD-100A는 Graphene, CNT 성장에 있어 가장 최적화 되어있습니다. 세계 여러 대학 및 기업에서 기술력을 인정 받았습니다.
    Best Product 대학 연구실, 산업 R&D 시설에 가장 많이 판매된 Graphene Square의 베스트 셀러 제품입니다.
    퍼니스 자동 이동 시스템 퍼니스는 두 개의 레일이 석영관을 따라 이동 가능하도록 설계되었습니다. 또한 수평상태에서 자동 이동이 가능한 정밀 센서를 제공합니다. 이 시스템은 빠른 가열과 빠른 냉각이 가능합니다.
    안전 캐비넷과 긴급정지기능 시스템 전체를 덮는 안전 캐비넷과 긴급정지버튼은 위험한 상황에서 사용자의 안전을 보호해줍니다.
    순도 높은 고품질의 그래핀 및
    2D Material 생산 가능     그래핀 뿐만 아니라 2D Material의
    안정적인 고순도 성장을 도와줍니다.
    • 사양(표준)

        1. Thermal CVD Semi-auto Operation system

        2. End chambers (stainless steel) - water cooled system

        3. Gas control unit ( Mass flow controller) - 3channel standard + 1 spare

        4. 340liter/min Oil rotary pump

        5. Pneumatic On/off valve with Down stream Auto pressure control Throttle valve with controller

        6. Programmable Temperature controller

        7. High Temperature Furnace(Max1200℃)

        8. Rapid Cooling system by furnace moving

        9. Atmospheric and Vacuum Processing

        10. Anti-contamination system by inner tube

        11. Vacuum gauge unit(Capacitance/Convectron)

        12. 1 year warranty

        13. On-site install and training

        14. Safety Cover (Connected exhaust system)

        15. Safety interlock system(Water / Air)

      • 사양(추가)

        1. Max temp 1500℃ Furnace by SIC source

        2. Rapid thermal processing furnace by IR lamp source

        3. MF power induction heating process Max temp 1600℃

        4. MFC(Mass flow controller) addition total 12channel

        5. Dry vacuum pump ( Scroll / booster / industry)

        6. Gas Safety interlock system for gas leak

        7. RF plasma ( ICP type )

        8. Tungsten filament gas source cracking

        9. Additional Furnace for source evaporation

        10. High Vacuum processing option (Pump/Gauge/valve unit)

        11. Installation in Fume hood

        12. Source delivery system ( Bubbler / Gas / Solid )

        13. System Utility ( Chiller / scrubber / gas cabinet )

        14. System Program ( Auto processing system)

      • 소모품

        1. K-type Thermocouple (Option : R-type)

        2. Furnace heating element (Furnace repair)

        3. Vacuum sensor

        4. Oil in Rotary Oil Pump

        5. O-ring

        6. Quartz tube

    • 시설 요구사항
      전력 220VAC 1ph 30A (35A for +1 furnace)
      공기압 0.5~0.6Mpa
      공기압 input size 6 mm one touch fitting
      냉각수 공급 3/8" lok fitting
      냉각수 압력 0.1~0.2Mpa
      안전 배기 size 6 mm one touch tube
      가스 input 압력 40psi
      가스 port 4ch standard (Option 2ch Extension)
      가스 port size 1/4"lok fitting
      배기 pump NW25
      Rotary pump 용량 340liter/min
      Vent 1/4"lok fitting
    • 설계도

    이 장비를 구입한 고객
    • Micro Photonics Micro Photonics
    • UCLA UCLA
    • Harvard University Harvard University
    • KAUST KAUST
    • Oxford University Oxford University
    • NTNU Nano Lab NTNU Nano Lab
    • University of Texas University of Texas
    • CNR IMIP of Bari University Lab CNR IMIP of Bari
      University Lab
    • Cambridge University Lab Cambridge
      University Lab
    • Cambridge University Lab Columbia
      University Lab
    • 품질 보증

      그래핀 스퀘어에서는 장비를 구매하신 고객분들께 전체 부속품 (단 quartz 유리 및 고무 오링 제외)에 대한 1년 무상 워런티 서비스를 제공합니다. 기간 내에 사용하시는 장비에서 부품 이상 또는 시스템 오류 발견시 바로 연락 주시면 즉각 24시 이내에 수리기사를 파견하여 드립니다.

    • 배송 기간

      제작 완료 및 검수 공정을 통과한 모든 장비는 고객님께서 지정해주신 장소로 당일배송 드립니다.

    • 장비 구매 과정
      • 1
        견적 요청

        1. 견적 요청 및 견적서 제공

      • 2
        구매의사 확인

        고객의 구매의사 확인 (고객으로 부터 Purchase order 전달)

      • 3
        Invoice / Payment

        Invoice 및 Payment 자료 제공

      • 4
        제작 / Training Program 제공

        1차 입금 완료시 기계 제작 돌입 및 training program 제공

      • 5
        장비 동작Test / 제품포장, 발송

        제작 완료후 최종 테스트 통과시 제품 포장 및 발송 진행

      • 6
        도착 완료

        최대 4일 이내 고객 사이트에 도착 완료

    • FAQ

      추후 오픈 예정입니다.

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    감사합니다.

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    TEL +82-31-548-2042