TCVD-50B 1500(W) X 893(H) X 590(D)
견적 문의
Thermal Chemical
Vapor Deposition 열화학증착(TCVD)기술의 주요 사항은 기판 위에 얇은 필름이 합성되는 고압의 reactor로 1,000ºC 가량의 고온에서 가스들을 유입시키는 것입니다.
특징
  • Size (mm) : 1500(W) x 893(H) x 590(D)
  • 경제적 & 공간 절약형 모델.
  • Water-cooled end chambers doors.
  • Water-cooled end chambers and doors.
  • 온도 조절: ~1,100℃
  • 고온에 보호되도록 설계된 디자인
  • 필름 두께의 균일성: ≤+-3%
  • 테스트 균일: ≤+-3%
  • 빠른 가열, 냉각을 위한 모터 제어 가동 히터
  • *가격은 상담 후 결정됩니다.
  • (표준 부분에서 다른 사용자 정의는 전체 가격에 영향을 미칠 것입니다.)
장비
    가격 경쟁력 TCVD-50B 모델은 100A 장비의 축소판이라 할 수 있습니다.
    하지만 기능적으로 우수하면서도 경제적이며 공간 절약형 모델입니다.
    수동형 테이블식
    CVD System     TCVD-50B는 예산에 제한적인 연구자를 위한 가장 이상적인 시스템입니다. 저비용으로 고품질의 Graphene 합성을 할 수 있습니다
    퍼니스 자동 이동 시스템 퍼니스는 두 개의 레일이 석영관을 따라 이동 가능하도록 설계되었습니다. 또한 수평상태에서 자동 이동이 가능한 정밀 센서를 제공합니다. 이 시스템은 빠른 가열과 빠른 냉각이 가능합니다.
    다양한 옵션 장착 가능 50B는 기본에 충실한 실용적인 모델입니다.
    유저가 원하는 시스템을 적용 가능합니다.
    • 기술사양(표준)

        1. TCVD Semi-auto operation system

        2. End chambers(stainless steel) -water cooled system

        3. Gas control unit ( Mass flow controller - 3channel standard +1 spare

        4. 340liter/min oil rotary pump

        5. Pneumatic on/off valve with down stream auto pressure control throttle valve with controller

        6. Programmable temperature controller

        7. High temperature furnace(Max1200℃)

        8. Rapid cooling system by furnace moving

        9. Atmospheric and vacuum processing

        10. Anti-contamination system by inner tube

        11. Vacuum gauge unit(Capacitance/Convectron)

        12. 1 year warranty

        13. On-site install and training

        14. Safety unit ( Relief valve )

      • 기술사양(추가)

        1. Max temp 1500℃ furnace by SIC source

        2. Rapid thermal processing furnace by IR lamp source

        3. MF power induction heating process max temp 1600℃

        4. MFC(Mass flow controller) addition

        5. Dry vacuum pump ( Scroll / booster / industry)

        6. Auto pressure control throttle valve with controller

        7. RF plasma ( ICP type )

        8. Tungsten filament gas source cracking

        9. Additional furnace for source evaporation

        10. Fume hood installation

        11. Source delivery system ( Bubbler / Gas / Solid )

        12. Thermal CVD semi-auto operation system

        13. System utility ( Chiller / scrubber / gas cabinet )

      • 소모품

        1. K-type thermocouple (Option : R-type)

        2. Furnace heating element (Furnace repair)

        3. Vacuum sensor

        4. Oil in rotary oil pump

        5. O-ring

        6. Quartz tube

    • 시설 요구 사항
      전력 220VAC 1ph 25A (30A for +1 furnace)
      냉각수 in/out 8 mm one touch fitting
      냉각수 공급 Air temp 5~7liter/min
      안전 배기 size 6 mm one touch tube
      가스 input 압력 40psi
      가스 port 4ch standard (Option 2ch 증설)
      가스 port size 1/4"lok fitting
      배기 pump NW25
      Rotary pump 용량 340liter/min
      Vent Manual handle vent
    • 설계도

    이 장비를 구입한 고객
    • Boston University Boston University
    • UCLA UCLA
    • 품질 보증

      그래핀 스퀘어에서는 장비를 구매하신 고객분들께 전체 부속품 (단 quartz 유리 및 고무 오링 제외)에 대한 1년 무상 워런티 서비스를 제공합니다. 기간 내에 사용하시는 장비에서 부품 이상 또는 시스템 오류 발견시 바로 연락 주시면 즉각 24시 이내에 수리기사를 파견하여 드립니다.

    • 배송 기간

      제작 완료 및 검수 공정을 통과한 모든 장비는 고객님께서 지정해주신 장소로 당일배송 드립니다.

    • 장비 구매 과정
      • 1
        견적 요청

        1. 견적 요청 및 견적서 제공

      • 2
        구매의사 확인

        고객의 구매의사 확인 (고객으로 부터 Purchase order 전달)

      • 3
        Invoice / Payment

        Invoice 및 Payment 자료 제공

      • 4
        제작 / Training Program 제공

        1차 입금 완료시 기계 제작 돌입 및 training program 제공

      • 5
        장비 동작Test / 제품포장, 발송

        제작 완료후 최종 테스트 통과시 제품 포장 및 발송 진행

      • 6
        도착 완료

        최대 4일 이내 고객 사이트에 도착 완료

    • FAQ

      추후 오픈 예정입니다.

    Contact us

    그래핀 샘플 구매 및 주문제작문의는 이메일 또는 전화로 부탁드립니다.
    감사합니다.

    info@graphenesq.com
    TEL +82-31-548-2042